Technologie : Wie Fraunhofer Maschinen zum 3D-Blick verhilft

Mikroscannerspiegel (MEMS-Scanner)
© Fraunhofer IPMS

Die Wahrnehmungsfähigkeit von Maschinen ist wichtig für moderne Technologien wie das autonome Fahren und den Einsatz von Robotern: Das Fraunhofer IPMS entwickelt MEMS-Scanner, die alle Anforderungen für das autonome Fahren erfüllen können und gleichzeitig klein und integrierbar sind. Darüber hinaus sind die Mikroscanner einsatzbereit für den Einsatz in Industrierobotern, die danke der LIDAR-Technologie dreidimensional sehen und ihren Arbeitsablauf anpassen können. Die mikrooptischen Systeme des Fraunhofer IPMS können zudem die Oberflächen- und Tiefenstruktur von Materialien im Mikrometerbereich analysieren mittels optischer Kohärenztomographie (OCT). Das Verfahren wurde ursprünglich für die Anwendung in der Medizin entwickelt und kann dank neuster Forschung auch in anderen Bereichen eingesetzt werden. Zudem können die am Fraunhofer IPMS entwickelten MEMS-Scanner den spektralen Fingerabdruck eines Stoffes erfassen, so dass dieser exakt identifiziert werden kann. Hierzu wird die Reflexionscharakteristik unterschiedlicher Stoffe aufgezeichnet und analysiert.

Millionen Spiegel für optische Systeme

Die photonischen Systeme des Fraunhofer IPMS können mittels kleiner auslenkbarer Spiegel Licht modulieren und so auf einzigartige Weise Bilder und Strukturen erzeugen. Das Dresdner Forschungsinstitut entwickelt auf diese Weise Flächenlichtmodulatoren mit bis zu mehreren Millionen Spiegeln auf einem Halbleiterchip. Die Mikrospiegelarrays werden unter anderem in der Halbleiterproduktion sowie in der Mikro- und Laserprojektion eingesetzt. Neben dem Einsatz in der Halbleiterindustrie ermöglicht die Innovation neuartige Methoden der Bildgebung in der Mikroskopie.