Auszeichnung

EUV-Lithographie: Neues Licht für das digitale Zeitalter

Der Deutsche Zukunftspreis 2020 geht an ein Forscher-Team von Zeiss, Trumpf und Fraunhofer. Geehrt wird die Entwicklung der EUV-Lithographie.

Ausgezeichnet wurden (v.l.): Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Dr. Peter Kürz, ZEISS Sparte SMT und Dr. Michael Kösters, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing.

EUV steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Die EUV-Lithographie ermöglicht Chips für modernste Smartphones und automatisiertes Fahren. Ein Forscher-Team bestehend aus Experten von Zeiss, Trumpf und Fraunhofer wurde jetzt für ihr Projekt „EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter“ mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet.

Das Experten-Team um Dr. Peter Kürz, Zeiss Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT), Dr. Michael Kösters, Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing, und Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena, hat mit ihrer Forschung einen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie leisten können.

2.000 Patente und noch mehr Arbeitsplätze

Die EUV-Technologie ist die Basis für die Digitalisierung des Alltags. Sie ermöglicht Anwendungen wie Autonomes Fahren, 5G, Künstliche Intelligenz und weitere zukünftige Innovationen und ist durch über 2.000 Patente abgesichert. Durch EUV wurden bei Zeiss und Trumpf bis heute mehr als 3.300 Hochtechnologie-Arbeitsplätze geschaffen.

White Paper zum Thema

Leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Chips

Weltweit einziger Hersteller für EUV-Lithographie-Maschinen ist die niederländische Firma ASML, die als Integrator die Architektur des Gesamtsystems und insbesondere die EUV-Quelle entworfen hat. Schlüsselkomponenten dieser Maschinen sind einerseits der Hochleistungslaser von Trumpf für die EUV-Lichtquelle und andererseits das optische System von Zeiss.

Mit der neuen Technologie lassen sich weitaus leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen als bisher. Ermöglicht wird dies durch einen kaum fingerkuppengroßen Mikrochip, auf dem sich mehr als fünfzehn Milliarden Transistoren befinden.

Das Fertigungsverfahren für die neuesten Chip-Generationen fußt auf der Nutzung von EUV-Licht. Von der Lichtquelle über das optische System im Vakuum bis zur Oberflächenbeschichtung der dabei eingesetzten Spiegel musste praktisch die gesamte Belichtungstechnologie von Grund auf neu entwickelt werden.

© Deutscher Zukunftspreis/Bildschön

Das Projektteam von „EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter“ erhielt den Deutschen Zukunftspreis 2020.

250.000 Euro für herausragende Leistungen

Der Deutsche Zukunftspreis wird seit 1997 jährlich vergeben, gehört zu den wichtigsten Wissenschaftsauszeichnungen in Deutschland und ist mit 250.000 Euro dotiert. Er ehrt herausragende technische, ingenieur- und naturwissenschaftliche Leistungen, die zu anwendungsreifen Produkten führen.